微细超声波加工技术

加工原理

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超声波的加工原理是：加工时在工具和工件间加入液体（煤油或水等）和磨料混合的悬浮液，并使工具以很小的力轻轻作用在工件上，由换能器产生超声频的纵向振动，并借助于变幅杆将振幅放大到0.05-0.1mm左右，驱动工具端面作超声振动，迫使工作液中悬浮的磨粒以很大的速度和加速度不断地撞击、抛磨被加工表面。

Thoe通过对超声加工的深入研究，对其材料去除机理进行了详细总结。这些机理主要包括：(1).由磨料粒子锤击工件表面引起的机械冲蚀；(2).磨料粒子自由运动产生的微切屑的切削作用；(3).悬浮液的超声空化作用；(4).与所用悬浮液体发生的化学反应。通过调整实验参数，实际的材料去除机理可能是上述机理之一,或者几种机理的复合作用。

微细超声波加工

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微细超声波加工可以说是常规超声波加工相的小型化，但是在微纳米尺度下对小型工件进行的加工。微细加工通常用在医疗器械领域、电子领域及国防领域，超声波也是如此。微细超声波技术加工工艺生产的零件通常需要用显微镜来观察。目前还没有商业化，尚处于研究阶段。

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